瑞荧仪器

项目介绍

瑞荧仪器研制生产半导体及微加工领域的精密光机电一体化模组和装备。其纳米至亚微米定位精度的多轴精密运动控制系统，技术水平国内领先，已打破国外垄断，被用于多种国产半导体加工设备。公司推出了面向MEMs、生物芯片和科研领域的无掩膜光刻机，瞄准了泛半导体制作平台的巨量新增市场。